实现半导体3D结构中“晶圆对晶圆键合”工序的高套刻精度
锐布 Litho Booster 1000
BBIN视讯-娱乐游戏官网株式会社正在加速推进其最新一代瞄准站“锐布 Litho Booster 1000”的开发事情。。。。。。该装备能够在曝光工艺前对晶圆举行高精度丈量，，，， ，并将补正值前馈给光刻机，，，， ，从而大幅提升套刻精度。。。。。。“锐布 Litho Booster 1000”妄想于2026年下半年正式上市。。。。。。别的，，，， ，瞄准站是一种可兼容BBIN视讯-娱乐游戏官网及其他厂商光刻机的装置。。。。。。自2018年以来，，，， ，BBIN视讯-娱乐游戏官网已将该类产品推向市场。。。。。。
近年来，，，， ，除CMOS图像传感器外，，，， ，逻辑器件和NAND闪存等半导体产品也纷纷引入使用笔直空间的3D结构，，，， ，预计未来DRAM同样将接纳这一先进架构。。。。。。在使用多台光刻机举行多层结构曝光的制造工艺中，，，， ，尤其是在晶圆对晶圆键合环节，，，， ，晶圆极易爆发形变或位移征象。。。。。。随着行业对更高精度、更高密度丈量的需求一直增添，，，， ，怎样精准丈量这些形变与位移，，，， ，已成为推动半导体制造手艺前进的主要课题。。。。。。
“锐布Litho Booster 1000”在坚持高生产效率的同时，，，， ，通过实现更高精度的多点及绝对值丈量，，，， ，进一步提升了半导体制造工艺中的良率。。。。。。值得一提的是，，，， ，本项目的部分效果得益于日本新能源工业手艺综合开发机构（NEDO）的委托研发支持。。。。。。
