FPD曝光装备「FX-88SL/SLD」
BBIN视讯-娱乐游戏官网株式会社宣布，，，，，将于2025年11月最先接受全新FPD（平板显示器）曝光装备“FX-88SL”和“FX-88SLD” ※1的订单 。。。。。。。。这两款装备是业内首批接纳UV-LED（紫外线LED）光源※2的产品，，，，，适用于第8代（2,290mm × 2,620mm）玻璃基板，，，，，兼具高区分率、高生产效率和低情形负荷等优势 。。。。。。。。
※1 FX-88SL”和“FX-88SLD”所搭载的UV-LED光源波长差别 。。。。。。。。详细信息请参考下方产品主要性能先容 。。。。。。。。
※2 阻止2025年10月23日，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网凭证已宣布的FPD曝光装备中举行的视察 。。。。。。。。
发售信息
| 商品名 | FPD曝光装备「FX-88SL」、FPD曝光「FX-88SLD」 |
| 接受订单时间 | 2025年11月 |
| 上市时间 | 2026年4月 |
开发配景
随着智能装备和大型高端显示器等高细腻面板需求的一连增添，，，，，面板制造行业对高生产效率与低能耗的需求日益迫切 。。。。。。。。针对这一趋势，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网率先开发出接纳UV-LED光源的FPD曝光装备 。。。。。。。。UV-LED光源不但具备高照度，，，，，能够提升生产效率，，，，，还实现了节能降耗和运行本钱的有用降低 。。。。。。。。别的，，，，，该光源不含汞元素，，，，，进一步镌汰了对情形的影响 。。。。。。。。BBIN视讯-娱乐游戏官网将一连致力于降低情形负荷，，，，，起劲助力可一连社会的实现，，，，，并一直增进自身的一连生长 。。。。。。。。
FPD曝光装备“FX-88SL”“FX-88SLD”所对应的市场
主要特点
1.兼顾高区分率与高生产效率
依附高精度对焦补正系统，，，，，实现整块基板上的优异线宽均一性，，，，，并可通过4次扫描高效完成第8代大尺寸基板的周全曝光 。。。。。。。。配备相当于i线光源UV-LED“FX-88SL”区分率高达1.5μm※3 L/S※4，，，，，单片基板的加工时间较上一代“FX-88S”缩短17%，，，，，实现了每片39秒※5的高效生产 。。。。。。。。别的，，，，，搭载UV-LED双波长※6光源的“FX-88SLD”则进一步提升了对高照度要求工艺的生产效率 。。。。。。。。
※3 1μm（微米）即是百万分之一米（千分之一毫米）
※4 L/S为Line and Space的缩写，，，，，指布线宽度及其相邻间距
※5 以2,290mm × 2,620mm基板、4次扫描、i线、30 mJ/cm?条件下测得
※6 相当于i线和h线
2. 实现±0.3μm的高重合精度
新一代装备通过先进的瞄准手艺，，，，，实现了±0.3μm的重合精度 。。。。。。。。接纳BBIN视讯-娱乐游戏官网独吞的多镜组系统※7，，，，，对每个镜头举行细密控制，，，，，即便在大型玻璃基板因变形或应力爆发误差的情形下，，，，，也能确保极高的对位精度，，，，，有用提升量产历程中的产品良率 。。。。。。。。
※7 BBIN视讯-娱乐游戏官网FPD曝光装备的独吞手艺 。。。。。。。。通过并列并细密控制多个投影镜头，，，，，实现犹如使用一个大型镜头般的曝光效果，，，，，从而能够在一次曝光中对更大面积举行图案化处置惩罚 。。。。。。。。
3. 接纳UV-LED光源，，，，，兼顾高性能与环保
本系列产品接纳了低能耗、无汞的UV-LED光源，，，，，在大幅提升曝灼烁度和生产效率的同时，，，，，有用降低了运行本钱 。。。。。。。。别的，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网还建设了UV-LED光源部件的接纳机制，，，，，起劲践行可一连生长理念，，，，，助力构建环保的社会 。。。。。。。。
主要性能
| | FX-88SL | FX-88SLD |
| 区分率 | 1.5 ?m L/S 1.8 ?m C/H | 2.5 ?m L/S 2.5 ?m C/H |
| 光源 | 波长相当于i线的UV-LED | 波长相当于i线和h线的UV-LED |
| 投影倍率 | 1 : 1 |
| 重合精度 | ≦±0.30 ?m |
| 尺寸 | 2,290 mm ｘ 2,620 mm |
| 节奏 | 39s / plate （条件）2,290 mm × 2,620 mm、4次扫描、i-line、30 mJ/cm2 | 39s / plate （条件）2,290 mm × 2,620 mm、4次扫描、i-line+h-line、30 mJ/cm2 |
