缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机「NSR-2205iL1」
株式会社BBIN视讯-娱乐游戏官网（社长：Toshikazu Umatate，，，，，，东京都港区）为应对功率半导体、通讯用半导体，，，，，，MEMS等种种器件，，，，，，发售与既有装备替换性高的缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机NSR-2205iL1。。。。。。。该装备性价比优异，，，，，，对晶圆材质的容纳性强，，，，，，能为种种半导体器件的高效率生产做出孝顺。。。。。。。为时隔25年※1发售的缩小投影倍率为5倍的i线步进式光刻机。。。。。。。
※1 以「NSR- 2205i14E2」从1999年接单起算
发售概况
| 商品名 | 缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机NSR-2205iL1 |
| 发售时间 | 2024年夏日左右 |
开发配景
随着电动汽车和高速通讯，，，，，，种种IT装备的普及，，，，，，与此响应的半导体的需求也一直升高。。。。。。。为应对多样的半导体性能的要求，，，，，，客户对曝光装备的要求也越来越重大和细密。。。。。。。
迄今为止，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网一直通过翻新二手装备来知足客户的的需求。。。。。。。为了缓解客户既有装备老化以及新i线装备供需主要的矛盾，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网基于”客户伴走运动”所知，，，，，，推出缩小投影倍率5倍i线步进式光刻机来提供客户最合适的解决计划。。。。。。。别的，，，，，，通过扩充对应差别需求的产品选项，，，，，，BBIN视讯-娱乐游戏官网会一连地，，，，，，恒久地支持半导体客户的生产。。。。。。。
主要特点
■ 应对多样化需求，，，，，，实现高性价比
多点自动对焦(AF)以实现晶圆丈量高精度化，，，，，，晶圆台Leveling※2性能增强、Wide DOF（焦点深度规模扩大）等，，，，，，使种种半导体制造工艺坚持良率水准的同时，，，，，，实现较高生产性能。。。。。。。别的，，，，，，晶圆的厚度、巨细、翘曲的对应规模增强后，，，，，，亦可适用于SiC（碳化硅 ）和GaN（氮化镓）等素材，，，，，，用途上也得以越发普遍使用。。。。。。。云云通过应对多样化需求，，，，，，实现了高性价比。。。。。。。
※2 在曝光历程中使晶圆台倾斜，，，，，，以赔偿曝光图像与基底外貌之间的误差。。。。。。。
■ 与既有装备的高兼容性
正在使用BBIN视讯-娱乐游戏官网的i线曝光装备的客户，，，，，，所持有的原有资产（mask、recipes等）可以继续使用，，，，，，可以轻松替换既有装备。。。。。。。
■ 为恒久使用而设计的装备
装备中使用的一部分零件由特定品到市场上流通性高的通用品的替换，，，，，，与之前相比零件的购入越发简朴，，，，，，以实现装备的恒久使用。。。。。。。
主要性能
| 区分率 | ≦ 350 nm※3 |
| NA | 0.45 |
| 曝光光源 | i-line (365 nm wavelength) |
| 缩小倍率 | 1:5 |
| 最大曝光规模 | 22 mm x 22 mm |
| 重合精度 | SMO※4 : ≦ 70 nm※3 |
※3 option选项
※4 SMO (Single Machine Overlay)：统一型号机械之间的重合精度
