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ArFÒº½þʽɨÃè¹â¿Ì»ú NSR-S625E
PDF: 1MB
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È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 38 nm |
|---|---|
| NA | 1.35 |
| Æعâ¹âÔ´ | ArF excimer laser (193 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 4 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 26 mm x 33 mm |
| ÖغϾ«¶È | MMO : ¨Q 2.5 nm |
| ²ú³ö | ¨R 280 wafers / hour (96 shots) |
ArFɨÃè¹â¿Ì»ú NSR-S333F
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´îÔØStreamlign Platformϵͳ
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È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 65 nm |
|---|---|
| NA | 0.92 |
| Æعâ¹âÔ´ | ArF excimer laser (193 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 4 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 26 mm x 33 mm |
| ÖغϾ«¶È | MMO : ¨Q 4 nm |
| ²ú³ö | ¨R 300 wafers / hour (96 shots) |
ArFɨÃè¹â¿Ì»ú NSR-S322F
PDF: 1MB
´îÔØStreamlign Platformϵͳ£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬
¸ßÖغϾ«¶ÈÓëÉú²úЧÂʵÄArFɨÃè¹â¿Ì»ú
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 65 nm |
|---|---|
| NA | 0.92 |
| Æعâ¹âÔ´ | ArF excimer laser (193 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 4 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 26 mm x 33 mm |
| ÖغϾ«¶È | MMO : ¨Q 5 nm |
| ²ú³ö | ¨R 230 wafers / hour (96 shots) ¨R 250 wafers/hour (96 shots)¡ù1 |
¡ù1 optionÑ¡Ïî
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 110 nm |
|---|---|
| NA | 0.82 |
| Æعâ¹âÔ´ | KrF excimer laser (248 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 4 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 26 mm x 33 mm |
| ÖغϾ«¶È | MMO : ¨Q 6 nm |
| ²ú³ö | ¨R 230 wafers / hour (96 shots) |
iÏß²½½øʽ¹â¿Ì»ú NSR-SF155
PDF: 1MB
´îÔØÌì¹³½á¹¹Óë¸ßËÙÔËתµÄ¾§Ô²ÊÂÇę́µÄ¸ßÖغϾ«¶ÈºÍ¸ß²ú³öiÏß²½½øʽ¹â¿Ì»ú
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 280 nm |
|---|---|
| NA | 0.62 |
| Æعâ¹âÔ´ | i-line (365 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 4 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 26 mm x 33 mm |
| ÖغϾ«¶È | SMO : ¨Q 25 nm |
| ²ú³ö | ¨R 200 wafers / hour £¨300 mm wafer, 76 shots£©, Ò²¿ÉÓÃÓÚ 200 mm wafer |
ËõСͶӰ±¶ÂÊ5±¶ iÏß²½½øʽ¹â¿Ì»úNSR-2205iL1
PDF: 1MB
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È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Çø·ÖÂÊ | ¨Q 350 nm¡ù1 |
|---|---|
| NA | 0.45 |
| Æعâ¹âÔ´ | i-line (365 nm wavelength) |
| ËõС±¶ÂÊ | 1 : 5 |
| ×î´óÆعâ¹æÄ£ | 22 mm x 22 mm |
| ÖغϾ«¶È | SMO : ¨Q 70 nm¡ù1 |
¡ù1 optionÑ¡Ïî
Ãé×¼Õ¾
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Ö÷ÒªÌصã |
|---|
|
¼ì²â?¼ì²é×°ÖÃ
×Ô¶¯ºê¹Û¼ì²â×°Öà AMI-5700
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È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Ö÷ÒªÌصã |
|---|
|
¾§Ô²¼ì²â×°Öà OPTISTATION-3200/3100/3000
Å䱸ÁËBBINÊÓѶ-ÓéÀÖÓÎÏ·¹ÙÍø±¶ÊÜÔÞÓþµÄ CFI60-2 ¹âѧÆ÷¼þ£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬¿É±¬·¢¸ß±ÈÕնȺÍ×îСɢ¹âµÄÇåÎúͼÏñµÄ¾§Ô²¼ì²â×°ÖÃ
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Ö÷ÒªÌصã |
|---|
|
XÉäÏß/CTϵͳ
XT H 225ºÍXT H 320
PDF: 10MB
¶àÓÃ;¸ßÇø·ÖÂÊ΢½¹µãCT¼ì²âϵͳ£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÃÓÚСÐÍËÜÁÏÅþÁ¬Æ÷¼°ÂÁÖý¼þµÈÖݪֲ¿¼þµÄÑз¢ºÍʧЧÆÊÎö¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| ×î´óÄÜÁ¿ | 225 kV / 320 kV |
|---|---|
| XÉäÏßÔ´ ×îС½¹µã | 1 ¦Ìm / 3 ¦Ìm |
| ×î´óCTɨÃè³ß´ç | 280 mm / 300 mm |
| ̽²âÆ÷ ×î´óÏñËؾØÕó | 2880 x 2880 / 2048 x 2048 |
| ×î´óÖ¡ËÙÂÊ | 30 fps |
Ó°ÏñÕÉÁ¿ÒÇ
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| ×î´óXYZÁ¿³Ì | 650 x 550 x 200 mm |
|---|---|
| ×îС¶ÁÊý | 0.01 ¦Ìm |
| ×î´óÔÊÐíÎó²î | EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4 L / 1000 ?m |
| ×î´óÔÊÐíÎó²î | EUXY, MPE 2.0 + 4 L / 1000 ?m |
| ×î´óÔÊÐíÎó²î | EUZ, MPE 1.2 + 5 L / 1000 ?m |
| ×î´óÔØÖØÁ¿ | 50 kg£¨¾«¶È°ü¹Ü: 30 kg£© |
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PDF: 13MB
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¹¤ÒµÏÔ΢¾µ
Ìåʽ±ä½¹ÏÔ΢¾µ
PDF: 17MB
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¼ì²â?¼ì²é×°ÖÃ
¾§Ô²¼ì²â×°Öà OPTISTATION-3200/3100/3000
Å䱸ÁËBBINÊÓѶ-ÓéÀÖÓÎÏ·¹ÙÍø±¶ÊÜÔÞÓþµÄ CFI60-2 ¹âѧÆ÷¼þ£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬¿É±¬·¢¸ß±ÈÕնȺÍ×îСɢ¹âµÄÇåÎúͼÏñµÄ¾§Ô²¼ì²â×°ÖÃ
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| Ö÷ÒªÌصã |
|---|
|
ͼÏñ´«¸ÐÆ÷¼ì²éÓÃÕÕÃ÷×°Öà N-SIS9/8
PDF: 1MB
½ÓÄÉÁËBBINÊÓѶ-ÓéÀÖÓÎÏ·¹ÙÍø¶ÀÍÌÊÖÒÕµÄͼÏñ´«¸ÐÆ÷¼ì²éÓÃÕÕÃ÷×°Öᣠ¡£¡£¡£¡£¡£ÒÔ¸ßÕնȶԿíÊÓ³¡¾ÙÐÐÔȳÆÕÕÃ÷£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬£¬²¢¿É¸ßËÙʵÏÖÕնȼ°RGBµÈµÄ·Ö¹âÉ趨µÄͼÏñ´«¸ÐÆ÷¼ì²éÓÃÕÕÃ÷×°ÖÃ
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| N-SIS9 | N-SIS8 | |
| ÀàÐÍ | ²âÊÔ»úÍ·ÄÚÖÃÐÍ | ̽Õë´îÔØÐÍ |
| ÊÓ³¡³ß´ç | 80 mm ¡Á 100 mm | 120 mm ¡Á 120 mm |
| ÕÕÃ÷Ò»ÖÂÐÔ | ¡À 2.0 %ÒÔÏ | ¡À 1.5 %ÒÔÏ |
ºóµÀÓùâ¿Ì»ú£¨ÓÃÓÚÏȽø·â×°£©
Êý×Ö¹â¿Ì»úDSP-100
ÃæÏòPanel Level PackageµÄÎÞÑÚĤ°æÊý×ÖÆعâ×°ÖÃÇø·ÖÂÊ¡¢Ì׿̾«¶È¡¢²úÁ¿ËùÓеִïÁ˸ߵÈˮƽ
È·ÈÏÏêϸÄÚÈÝ
| ²úÆ·Ãû³Æ | Êý×Ö¹â¿Ì»ú¡°DSP-100¡± |
|---|---|
| Çø·ÖÂÊ | 1.0¦Ìm L/S |
| ¹âÔ´ | Ï൱ÓÚiÏß |
| Ì׿̾«¶È | ¨Q¡À0.3¦Ìm |
| Ö§³Ö»ù°å³ß´ç | ·½Ðλù°å£º¡«600x600mm |
| ²ú³ö | 50Ƭ/Сʱ ¡ùÒÔ510x515mm»ù°åΪÀý |
